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第三四代半导体材料
发布时间:2026-01-17

晶盛机电、北方华创、优晶科技、意法半导体及至2025年3月26日天岳先进展示12吋衬底,SiC衬底几乎全部采用PVT技术生长。
2024年1月,中科院陈小龙团队利用高温液相法,在国际上首次生长出了直径4英寸、厚度10mm、单一晶型的3C-SiC单晶。2024年4月23日,日本中央玻璃股份有限公司宣布将采用液相法研究和开发8英寸SiC晶片。2024年4月26日,浙大杭州科创中心-乾晶半导体联合实验室采用“提拉式PVT法”,成功生长出直径为6英寸、厚度达100 mm的超厚碳化硅单晶。
2023年2月28日,团队提出PVR技术,创新体现在:1、增材制造SiC或GaN晶体尺寸不受限制,只与真空室尺寸有关,最大可达32英寸以上;2、可在晶体上直接同质外延生长SiC或GaN,也可在晶格和晶面匹配度较高的籽晶上异质增强沉积SiC或GaN晶体和外延,实现一步制造SiC或GaN衬底晶体和外延,成本降低至目前的1/2~1/5;3、通过控制工艺参数,还可制备目前生长第三代半导体所急需的400mm SiC和TaC涂层盘,制备满足战略需求的超高温陶瓷基复合材料,以及研发和生产第四代半导体材料,在潜在万亿市场规模上没有任何竞争对手。
本技术已实现100原子尺寸精确控制,即将带来室温超导和超级电容器的突破,钙钛矿太阳能电池、钍基熔盐堆和聚变堆等“无限能源”的突破。


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